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Chiller半導體溫控裝置,可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩(wěn)定,應用于石化、醫(yī)藥、生化、凍干、軍工等高科技行業(yè)。
溫濕度調節(jié)裝置在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
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